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NEWS INFORMATION有關(guān)旋干機關(guān)鍵技術(shù)的解決途徑
2017-01-05 旋干機利用旋轉(zhuǎn)離心力的方式進行去離子水沖洗、熱氮氣烘干,DI水電阻率監(jiān)控、氮氣加溫、防靜電控制以及系統(tǒng)潔凈化處理來達到高潔凈度的片子清洗效果。設(shè)備由主機、相互獨立的工作腔體、片架載體、去離子水、氮氣控制系統(tǒng),以及PLC控制和操作系統(tǒng)組成。良好的旋干機是集流體、流體控制、精密機械、潔凈化處理、新材料、計算機控制、半導體工藝技術(shù)為一體的綜合系統(tǒng)技術(shù)整合。這些技術(shù)和單元所采用的關(guān)鍵技術(shù)及解決途徑主要體現(xiàn)在以下方面:1、潔凈化處理技術(shù)良好的旋干機屬高潔凈度要求下的“微特征”控制設(shè)備。...關(guān)于我們
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